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螺桿泵|如何在干式真空泵應用中防止泵內出現顆粒物的解決方法

日期:2018-07-28 13:31:00      作者:煙臺沃爾姆真空技術(shù)有限公司

干式真空泵目前應用越來(lái)越廣泛,尤其是在半導體、化工等一些工況可能比較惡劣的應用行業(yè)里。螺桿泵廠(chǎng)家 今天就來(lái)講一講,在干式真空泵應用中防止泵內出現顆粒物的解決方法:


清潔、耐用、低噪等等都是干式真空泵的實(shí)用標簽。但在實(shí)際的干式真空泵應用中,干式真空泵也分接觸型與非接觸型。因此在處理一些含顆粒物氣體過(guò)程中,并不是所有的干式真空泵都如螺桿真空泵、羅茨真空泵等非接觸型泵種一樣對顆粒氣體有良好耐受性,而是需要通過(guò)過(guò)濾設備來(lái)予以解決。此外即使是對顆粒性氣體有良好耐受性的非接觸性干式真空泵,我們?yōu)榉乐挂馔?,也需要盡量避免介質(zhì)在真空泵泵內由于化反或氣固變相形成顆粒物。

螺桿泵|在干式真空泵應用中防止泵內出現顆粒物的工況圖片

螺桿泵|在干式真空泵應用中防止泵內出現顆粒物的工況圖片


上圖就是顆粒物、可凝性氣體在真空泵內凝結后會(huì )對泵造成的各種損傷。對此,除常規的過(guò)濾裝置外,螺桿真空泵廠(chǎng)家對此總結的做法包括:


1、適當提高泵溫。 物質(zhì)的升華、凝固是壓力與溫度的函數,隨物質(zhì)不同各有變化。因此提高泵內溫度可以避免一些介質(zhì)在泵內壓縮過(guò)程中發(fā)生氣固變相而形成顆粒物。如Al在刻蝕過(guò)程中生產(chǎn)的氯化鋁,在對應壓力下,其在80℃就會(huì )開(kāi)始氣化,因此在將泵內溫度保持在80℃就可有效避免氯化鋁的固化沉積。

2、降低會(huì )反應氣體的濃度。單位時(shí)間內氣體反應生成顆粒數量與氣體濃度相關(guān),所以在干式真空泵抽取這類(lèi)氣體的工藝中可以通過(guò)充入惰性氣體,減少反應氣體濃度來(lái)降低顆粒物的形成。這個(gè)方法也會(huì )用于泵內溫度冷卻,防止介質(zhì)降解、聚合形成腐蝕性物質(zhì)等,也可以防止介質(zhì)達到著(zhù)火極限等可能,如CVD工藝中可能的爆炸。

3、增加抽氣通道中的氣流速度。為防止處于懸浮狀態(tài)的固體顆粒物沉積,使氣體的流動(dòng)速度大于顆粒物沉積的臨界速度,就可保證顆粒物隨氣流輸送排出,防止沉積。具體的方法與第2點(diǎn)一樣,在不影響真空泵的極限壓力的前提下,就是充入適量氣體。

煙臺沃爾姆真空技術(shù)有限公司是一家專(zhuān)業(yè)的真空泵的制造商,擁有20年的生產(chǎn)、銷(xiāo)售及維護維修經(jīng)驗。擁有先進(jìn)生產(chǎn)設備及加工中心,獨立的研發(fā)團隊,擁有自研核心技術(shù),品質(zhì)堅實(shí),售后更有保障。


總結:VOLM螺桿泵,極限壓力(1*10-2Torr(托) )完全無(wú)油無(wú)水,可長(cháng)時(shí)間運行,并且針對國內高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對性?xún)?yōu)化,更適應國內的各類(lèi)工況環(huán)境,實(shí)際應用實(shí)現更低故障率,更低能耗,更高能效。廣泛應用于制藥、精細化工、電子光伏、包裝行業(yè)和造紙等二十多種生產(chǎn)行業(yè)。


參考資料:真空網(wǎng)等

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